GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。
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〒105-0014 東京都港区芝3-8-2 芝公園ファーストビル16F
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エピ装置用セラミック、グラファイト製品
半導体製造装置（前工程）用
グラファイト、クォーツ、セラミック製品
・オランダXYCARB CERAMICS社製
・各装置メーカーからの信頼に裏付けられた高純度、高加工精度製品の製造
・エピタキシャル成長、CVD/エッチング装置用各種サセプター、
クォーツ製品
・ASM社Epsilon装置用グラファイト、クォーツ製品の認定ベンダー
・高純度CVD SiCコーティング製品
・RTP装置用エッジリング、シリンダー 高純度CVD
SiC製品（高温アニーリング用ウェーハサポートリング）
- 確かな加工技術、高い寸法精度と清浄度
- 幅広い石英材料（透明・不透明）に対応、自社材料もラインナップ
- 独自の自動化加工技術で一貫した高加工精度・寸法を維持
- 各種修理対応も可能
バナースペース
株式会社GSIクレオス
半導体関連材料、装置
半導体エレクトロニクス部
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産業用材料、装置
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