GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

MSP Corporation（本社所在地：米国　ミネソタ州）は半導体関連、
製薬関連を主とする装置メーカーです。
パーティクルに関する独創的な製品でお客様のニッチなニーズに
お応えします。

パーティクル塗布関連

• ・パーティクル塗布装置
• ・パーティクル塗布サービス
• ・標準粒子（PSL、ナノシリカ、プロセスパーティクル）

Vaporizer関連

Vaporizerの特長

• ・長時間の使用でも安定した濃度で気化が可能
• ・Atomizerを使用することで、気化材を0.5μmサイズの水滴にし、早く且つ完全な気化が可能
• ・水滴サイズが小さい為、低温での気化が可能（熱分解しやすい気化材でも対応可能）
• ・完全な気化により本体内に気化材が残留しないため、詰まりが発生しづらく、推奨メンテナンス期間が無い
• ・主な用途：ALD、CVD、その他

Liquid Flow Controllerの特長

• ・レスポンスタイムが早い（稼働してから0.3秒で設定の流量に到達）
• ・流量の安定性が高い
• ・気化材の無駄が少ない

Filterの特長

• ・圧力損失が少ない
• ・高温下で使用することが可能