GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

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(株)GSIクレオス 半導体エレクトロニクス部/機材ソリューション部

パーティクル塗布装置 




MSP Corporation(本社所在地:米国 ミネソタ州)は半導体関連、
製薬関連を主とする装置メーカーです。
パーティクルに関する独創的な製品でお客様のニッチなニーズに
お応えします。

 
半導体関連装置


① パーティクル塗布装置



Model: 2300NPT2
用途:ウェハの表面検査機を校正するため、ウェハの特定の箇所に特定のサイズのパーティクルを塗布します。

200mm, 300mm ウェハ対応(FOUP搭載)
・一つのレシピで最大12種類のサイズのパーティクル塗布が可能
・全面塗布、スポット塗布が可能
・最小粒径サイズ20nmのパーティクルが塗布可能




② スポットおよび全面塗布サービス



お客様よりウェハをお借りし、ご希望のサイズのパーティクルを塗布するサービスを行っています。
・スポット及び全面塗布可能
200mm, 300mm, 450mmウェハに塗布可能





③ ナノシリカ販売

MSP社にて製造しているSiO2パーティクルを販売しています。
・最小粒径サイズ18nmから最大200nmまでのパーティクルを提供可能
PSLと違い、DUVEUVを使用する検査機の校正にも使用可能





④ プロセスパーティクル販売


表面検査機等で使用するプロセスパーティクルを販売しています。
・パーティクルの形状:非球状
・パーティクルの種類:Si, SiO2, Al2O3, AIF3, TiO2, Si3N4, TiN, Ti,  Cu, W, Ta, Fe, Ni
・粒径サイズ:40-200nm (PR1), 200-500nm (PR2),
 500-1000nm (PR3)
までのパーティクルを塗布可能







製薬関連

① 気流可視化装置



Model: Ultrapure Cleanroom Fogger M2001
用途:クリーンルーム内で気流を目視で確認する際に使用します。
・蒸気を液体窒素で急冷させることで、水滴の直径3μm以下
 という高密度のミストが発生

・クリーンルームを汚染する危険性が無いため、ルーム内での
 作業中にも使用が可能

・連続運転時間は約45分間






このほかにも様々な用途の装置のご用意がございます。
詳しくは
MSP社のウェブサイト
http://www.mspcorp.com/
をご覧ください。
ご質問、ご要望ございましたら何なりと弊社までお問い合わせください。








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