GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

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(株)GSIクレオス　半導体エレクトロニクス部/機材ソリューション部

再生製品


静電チャック再生




米国Ｉｎｖａｘ社は、１９８５年設立以来、半導体製造装置メーカーやデバイスメーカー向けに、各種の静電チャック再生を行っている再生のパイオニア企業です。その実績と経験により、現在１５０種類以上の静電チャック再生を実施し、お客様の信頼を得ております。
　 
・１９８５年設立以来の豊富な経験と実績 
・大手半導体装置メーカー、大手半導体企業へ納入
　（日本、米国 欧州、台湾等）
・共同開発実施、特殊デザインや材料の提案
・１５０種類以上の静電チャック再生
・CVD、PVD、エッチング等の各種装置向け
・独自技術によるロングライフの実現
・誘電層、パッド、ボンディング層の再生

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　






エピタキシャル成長装置用
ゴールドリフレクター



　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

・米国Gold Tech Industries 社製
・ASM社 Epsilon装置　認定ベンダーとして確かな実績
・ゴールドコーティング（再生）サービスも実施
・世界最大のエピタキシャル成長装置用ゴールドリフレクターメーカー
・優れた品質により世界のエピタキシャル成長装置メーカーで採用


　

バナースペース

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