GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

Genmark Automation社(本社所在地: 米国 カリフォルニア州)は半導体市場において世界をリードする開発力、技術力を兼ね備えたウェハ
搬送用ロボットメーカーです。常圧用ロボット、真空用ロボット、
EFEM、ウェハソーター等、お客様のニーズに合わせた様々な
ロボットとシステムをご提案致します。

常圧用ロボット

 
Model GB4S

・～300mmウェハ対応
・アーム構成: 5.25”-5.25”、7.25”-7.25”、4”-8”-4” 
・エンドエフェクター: バキューム、落とし込み
・Z軸距離: (距離/胴体高さ) 7”/13.6”、12”/18.6”、17”/23.6”、20”/26.6”
・胴体寸法: 直径9.76”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001”

Model GB4P
・～200mmウェハ対応
・本体にプレアライナーを搭載した省スペースモデル
・アーム構成: 5.25”-5.25”、7.25”-7.25”、4”-8”-4”
・エンドエフェクター: バキューム、落とし込み
・Z軸距離: (距離/胴体高さ) 7”/13.5”、8.5”/14.3”、12”/17.85”、17”/23.5”、20”/26.5”
・胴体寸法: 直径9.76”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001” 

Model GB7S
・～450mmウェハ対応
・Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
・アーム構成: 6”-12”-6”、4”-8”-4”、8”-8”
・Z軸:距離: 17”、20” 
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、
　落とし込み
・胴体寸法: 直径9.96”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001”

Model GB7SY
・～450mmウェハ対応
・Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
・Y軸(Single, Dual)搭載で直線に並んだFOUPにアクセス可能
・アーム構成: 6”-12”-6”、4”-8”-4”、8”-8”
・Z軸:距離: 17”、20”
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、落とし込み
・胴体寸法: 直径9.96”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001”、Y: +/-0.005°

Model GB8/GB8Y
・～450mmウェハ対応
・Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
・Dual Armを搭載し、高スループットを実現
・Y軸搭載で直線に並んだFOUPにアクセス可能
・胴体寸法: 直径14”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、A1/A2: +/-0.001”、Z: +/-0.001”、Y: +/-0.005°

Model G-Rex3^TM  v.1
・～450mmウェハ対応
・部品見直しにより、コスト、重量、メンテナンスの低減を実現
・アーム構成: 6”-12”-6”、4”-8”-4”、8”-8”
・Z軸:距離: 17”、20”
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、落とし込み
・胴体寸法: 直径14”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、A1/A2: +/-0.001”、Z: +/-0.001”、Y: +/-0.005°

 

Model G-Rex4^TM Dual Arm System
・～450mmウェハ対応
・部品見直しにより、コスト、重量、メンテナンスの低減を実現
・アーム構成: 6.45”-6.45”、8.68”-8.68”
・Z軸:距離: 17”、20”
・胴体寸法: 直径9.8”, 高さ 20.94”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001”

真空用ロボット

Model AVR3000
・～450mmウェハ対応
・アーム構成: 5.25”-5.25”、7.5”-7.5”、10.5”-10.5”、12.5”-12.5”
・Z軸:距離: 1”
・対荷重5lb
・胴体寸法: 直径 9.83”、高さ12.77
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”、Z: +/-0.001”

 

 
Model GPR-SMV
・～450mmウェハ対応
・Z軸を3本搭載し、TILT(1.0°)操作が可能
・重量物搬送可能: 対荷重12lb
・アーム構成: 5.25”-5.25”、7.5”-7.5”、10.5”-10.5、12.5”-12.5””
・Z軸:距離: 3”
・胴体寸法: 直径14”、高さ 24.1”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R1:+/-0.001”、R2: +/-0.001”、Z: +/-0.001

システム

 
Model Vacuum Cluster
・5～8ポート対応可能
・対荷重: 20lb
・寸法: 直径44.25”

Model Mini-Max^TM (EFEM)
・～300mmウェハ対応
・ソフトウェアインターフェース: E30、E84、E87、E90、E94、E99、E118、E116
・重量物搬送可能: 対荷重12lb
・アーム構成: 5.25”-5.25”、7.5”-7.5”、10.5”-10.5、12.5”-12.5””
・機械寸法: 2ロードポート: 45”、　 3ロードポート: 66”、 　4ロードポート/ 80”
・エアフロー: 90+/-10% ft/min (0.45+/-10% m/sec.

 

Model SortMax300 HT^TM
・～300ウェハ
・PTFE ULPA 99.99995%@0.1micto meter efficiency 
・ソフトウェアインターフェース: E30、E84、E87、E90、E94、E99、E118、E116
・通信: RS232 (SECS-1)、Ethernet (HSMS) 

この他にも様々なアプリケーションでご使用頂けるロボット、又プレアライナー、
エンドエフェクターも各種ラインナップがございます。
詳しくはGenmark社のウェブサイト、又は弊社へお問合せ下さい。