GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

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(株)GSIクレオス 半導体エレクトロニクス部/機材ソリューション部

腐食防止CVDコート 



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. 腐食防止アモルファスシリコンCVDコーティング

      半導体装置、化学分析機器、ガス配管向け



米国SilcoTek社
・米国特許取得済みのCVDコーティング構造により、卓越した腐食防止性能と耐化学性能を発揮します。
・複雑な形状の配管や継手、及び特注装置のいずれにも薄膜かつ均一なコーティング層を付与します。
・アスペクト比の非常に高い配管内部にも継ぎ目のない全面コートのコーティング層を形成します。
・ステンレススチール、ハステロイのほか、ガラスやセラミックなど様々な基材にコーティングできます。
・半導体装置(エッチング、CVD、ALD等)の長寿命化を目的として、3種類のシリコンコートを取り揃えております。







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