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GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

TEL. 03-5211-1813

〒102-0074 東京都千代田区九段南2-3-1

(株)GSIクレオス 産業機材部                    

エピ装置用セラミック、グラファイト製品




半導体製造装置(前工程)用
グラファイト、クォーツ、セラミック製品

・オランダXYCARB CERAMICS社製
・各装置メーカーからの信頼に裏付けられた高純度、
 高加工精度製品の製造

・エピタキシャル成長、CVD/エッチング装置用各種サセプター、 
 クォーツ製品

・ASMEpsilon装置用グラファイト、クォーツ製品の認定ベンダー
・高純度CVD SiCコーティング製品
・RTP装置用エッジリング、シリンダー 高純度CVD   
 SiC
製品
(高温アニーリング用ウェーハサポートリング)










 

- 確かな加工技術、高い寸法精度と清浄度

- 幅広い石英材料(透明・不透明)に対応、自社材料もラインナップ

- 独自の自動化加工技術で一貫した高加工精度・寸法を維持

- 各種修理対応も可能








バナースペース

株式会社GSIクレオス産業機材部

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FAX 03-5211-1929