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GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

TEL. 03-5211-1813

〒102-0074 東京都千代田区九段南2-3-1

(株)GSIクレオス 産業機材部                    

再生製品


静電チャック再生




米国Invax社は、1985年設立以来、半導体製造装置メーカーやデバイスメーカー向けに、各種の静電チャック再生を行っている再生のパイオニア企業です。その実績と経験により、現在150種類以上の静電チャック再生を実施し、お客様の信頼を得ております。
 
 
1985年設立以来の豊富な経験と実績 
大手半導体装置メーカー、大手半導体企業へ納入
 (日本、米国 欧州、台湾等)

共同開発実施、特殊デザインや材料の提案
150種類以上の静電チャック再生

CVD、PVD、エッチング等の各種装置向け

独自技術によるロングライフの実現
誘電層、パッド、ボンディング層の再生

                            






エピタキシャル成長装置用
ゴールドリフレクター



                                        

・米国Gold Tech Industries 社製
・ASM Epsilon装置 認定ベンダーとして確かな実績
・ゴールドコーティング(再生)サービスも実施
・世界最大のエピタキシャル成長装置用ゴールドリフレクターメーカー
・優れた品質により世界のエピタキシャル成長装置メーカーで採用



 

バナースペース

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FAX 03-5211-1929