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GSIクレオス産業機材部は半導体関連商品をはじめ、様々な部材、装置を扱っております。

TEL. 03-5211-1813

〒102-0074 東京都千代田区九段南2-3-1

(株)GSIクレオス 産業機材部                    

ウエハ搬送ロボット 




Genmark Automation(本社所在地: 米国 カリフォルニア州)は半導体市場において世界をリードする開発力、技術力を兼ね備えたウェハ
搬送用ロボットメーカーです。
常圧用ロボット、真空用ロボット、
EFEM、ウェハソーター等、お客様のニーズに合わせた様々な
ロボットとシステムをご提案致します。



常圧用ロボット

 
Model GB4S

・〜300mmウェハ対応
・アーム構成: 5.25”-5.25”7.25”-7.25”4”-8”-4” 
・エンドエフェクター: バキューム、落とし込み
Z軸距離: (距離/胴体高さ) 7”/13.6”12”/18.6”17”/23.6”20”/26.6”
・胴体寸法: 直径9.76”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001”



Model GB4P
・〜200mmウェハ対応
・本体にプレアライナーを搭載した省スペースモデル
・アーム構成: 5.25”-5.25”7.25”-7.25”4”-8”-4”
・エンドエフェクター: バキューム、落とし込み
Z軸距離: (距離/胴体高さ) 7”/13.5”8.5”/14.3”12”/17.85”17”/23.5”20”/26.5”
・胴体寸法: 直径9.76”
繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001” 


Model GB7S
・〜450mmウェハ対応
Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
・アーム構成: 6”-12”-6”4”-8”-4”8”-8”
Z:距離: 17”20” 
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、
 落とし込み

・胴体寸法: 直径9.96”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001”


Model GB7SY
・〜450mmウェハ対応
Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
Y(Single, Dual)搭載で直線に並んだFOUPにアクセス可能
・アーム構成: 6”-12”-6”4”-8”-4”8”-8”
Z:距離: 17”20”
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、落とし込み
・胴体寸法: 直径9.96”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001”Y: +/-0.005°


Model GB8/GB8Y
・〜450mmウェハ対応
Z軸を3本搭載し、TILT(1.5°)操作が可能
Dual Armを搭載し、高スループットを実現
Y軸搭載で直線に並んだFOUPにアクセス可能
・胴体寸法: 直径14”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”A1/A2: +/-0.001”Z: +/-0.001”Y: +/-0.005°


Model G-Rex3TM  v.1
・〜450mmウェハ対応
・部品見直しにより、コスト、重量、メンテナンスの低減を実現
・アーム構成: 6”-12”-6”4”-8”-4”8”-8”
Z:距離: 17”20”
・エンドエフェクター: バキューム、エッジグリップ、落とし込み
・胴体寸法: 直径14”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”A1/A2: +/-0.001”Z: +/-0.001”Y: +/-0.005°

 


Model G-Rex4TM Dual Arm System

・〜450mmウェハ対応
・部品見直しにより、コスト、重量、メンテナンスの低減を実現
・アーム構成: 6.45”-6.45”8.68”-8.68”
Z:距離: 17”20”
・胴体寸法: 直径9.8”, 高さ 20.94”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001”




真空用ロボット




Model AVR3000
・〜450mmウェハ対応
・アーム構成: 5.25”-5.25”7.5”-7.5”10.5”-10.5”12.5”-12.5”
Z:距離: 1”
・対荷重5lb
・胴体寸法: 直径 9.83”、高さ12.77
・繰返精度: T: +/-0.01°、R:+/-0.001”Z: +/-0.001”

 

 
Model GPR-SMV
・〜450mmウェハ対応
Z軸を3本搭載し、TILT(1.0°)操作が可能
・重量物搬送可能: 対荷重12lb
・アーム構成: 5.25”-5.25”7.5”-7.5”10.5”-10.512.5”-12.5””
Z:距離: 3”
・胴体寸法: 直径14”、高さ 24.1”
・繰返精度: T: +/-0.01°、R1:+/-0.001”R2: +/-0.001”Z: +/-0.001






システム

 
Model Vacuum Cluster
58ポート対応可能
・対荷重: 20lb
・寸法: 直径44.25”




Model Mini-MaxTM (EFEM)
・〜300mmウェハ対応
・ソフトウェアインターフェース: E30E84E87E90E94E99E118E116
・重量物搬送可能: 対荷重12lb
・アーム構成: 5.25”-5.25”7.5”-7.5”10.5”-10.512.5”-12.5””
・機械寸法: 2ロードポート: 45”、  3ロードポート: 66”  4ロードポート/ 80”
・エアフロー: 90+/-10% ft/min (0.45+/-10% m/sec.

 

Model SortMax300 HTTM
・〜300ウェハ
PTFE ULPA 99.99995%@0.1micto meter efficiency 
・ソフトウェアインターフェース: E30E84E87E90E94、E99、E118E116
・通信: RS232 (SECS-1)Ethernet (HSMS) 




この他にも様々なアプリケーションでご使用頂けるロボット、又プレアライナー、
エンドエフェクターも各種ラインナップがございます。

詳しくはGenmark社のウェブサイト、又は弊社へお問合せ下さい。








バナースペース

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